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MEGAGEN係列COM-VD

德國ANSEROS安索羅斯(sī)臭(chòu)氧(yǎng)發(fā)生器(qì)MEGAGEN係(xì)列(liè)COM-VD在(zài)半導體加工等(děng)方(fāng)麵發揮重大作用(yòng)。

特(tè) 點(diǎn)
適用(yòng)於電(diàn)子元件(jiàn)臭(chòu)氧清(qīng)洗,晶圓清(qīng)洗
ANSEROS安索羅(luó)斯臭(chòu)氧發生(shēng)器(qì)圖(tú)片
  • MEGAGEN係列COM-VD ANSEROS安(ān)索羅斯(sī)臭氧發生器圖片(piàn)1
  • MEGAGEN係列COM-VD ANSEROS安索(suǒ)羅(luó)斯(sī)臭氧發(fā)生器(qì)圖片(piàn)2
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MEGAGEN係列COM-VD產(chǎn)品(pǐn)詳情(qíng)

MEGAGEN係列COM-VD技(jì)術(shù)參數

類(lèi)型單位COM-VD-08COM-VD-16COM-VD-24
臭(chòu)氧容(róng)量g O3/h60120180
最大(dà)臭(chòu)氧(yǎng)濃度(dù)g O3/Nm3300300300
最(zuì)小(xiǎo)臭氧(yǎng)濃(nóng)度(dù)g O3/Nm3150150150
臭氧氣(qì)體(tǐ)壓力(lì)輸(shū)出bar (g)<2.9
最(zuì)小氧氣消耗量(liáng)Nm3/h0,20,40,6
電(diàn)功率(shuài)kW0,61,21,8
電(diàn)源VAC /Hz230/50-60/1 phase
能(néng)效kWh/kg O3101010
AOPR評(píng)級(jí),
動力
kg O3/(bar *h* m3H2O）10 ... 500
冷卻液(yè)，目(mù)標溫度m3 /h283 K0,10,20,3
外形尺(chǐ)寸mm高280*寬562*長(cháng)603 mm
標(biāo)準(zhǔn)重量kg415062

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