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MEGAGEN係(xì)列COM-VD

德(dé)國ANSEROS安(ān)索(suǒ)羅斯(sī)臭氧(yǎng)發(fā)生器MEGAGEN係列COM-VD在(zài)半(bàn)導(dǎo)體加(jiā)工等(děng)方麵發(fā)揮重大作(zuò)用。

特(tè) 點(diǎn)

適(shì)用於(yú)電子元(yuán)件臭(chòu)氧清(qīng)洗,晶(jīng)圓清(qīng)洗

暫無產(chǎn)品(pǐn)詳細(xì)圖(tú)片
MEGAGEN係列(liè)COM-VD產品詳(xiáng)情

MEGAGEN係(xì)列COM-VD技術參數(shù)

類型(xíng)單(dān)位COM-VD-08COM-VD-16COM-VD-24
臭氧容量g O3/h60120180
最大(dà)臭(chòu)氧濃度g O3/Nm3300300300
最(zuì)小臭(chòu)氧濃度g O3/Nm3150150150
臭氧氣(qì)體(tǐ)壓力(lì)輸出bar (g)<2.9
最小氧氣消(xiāo)耗(hào)量(liáng)Nm3/h0,20,40,6
電功(gōng)率(shuài)kW0,61,21,8
電(diàn)源VAC /Hz230/50-60/1 phase
能效kWh/kg O3101010

AOPR評級,

動(dòng)力

kg O3/(bar *h* m3H2O）10 ... 500
冷卻(què)液(yè)，目標(biāo)溫(wēn)度(dù)m3 /h283 K0,10,20,3
外(wài)形尺(chǐ)寸mm高(gāo)280*寬562*長603 mm
標準(zhǔn)重(zhòng)量kg415062

翁(wēng)開(kāi)爾(ěr)是德(dé)國ANSEROS安(ān)索(suǒ)羅斯中國總代(dài)理(lǐ)，了(liǎo)解更多(duō)關於德國(guó)ANSEROS安索羅斯(sī)臭氧發生器，歡迎致(zhì)電【400-6808-138】咨詢。