台式掃描(miáo)電子(zǐ)顯微(wēi)鏡ZME 20采(cǎi)用(yòng)更加(jiā)寬(kuān)泛的加速電(diàn)壓,1KV步(bù)進,換(huàn)樣(yàng)時(shí)間(jiān)僅需(xū)30秒(miǎo),最大(dà)放(fàng)大 36萬倍(bèi),標配減(jiǎn)速模(mó)式(shì),滿足(zú)弱(ruò)導(dǎo)電(diàn)樣品不噴(pēn)金直接觀察(chá),電(diàn)子束(shù)敏(mǐn)感樣品無(wú)損(sǔn)觀(guān)察(chá)的要求。
易(yì)用(yòng)性強,兼容擴(kuò)展(zhǎn)性(xìng)強,超(chāo)快抽(chōu)真空時(shí)間,高(gāo)速(sù)信(xìn)號采集,多(duō)種(zhǒng)成像(xiàng)模式(shì),高(gāo)分辨觀測

台(tái)式掃描(miáo)電子顯微鏡ZME 20采(cǎi)用更(gēng)加(jiā)寬(kuān)泛的(dí)加速電壓,1KV步(bù)進,換樣時間僅需30秒,最(zuì)大(dà)放(fàng)大(dà)36萬倍(bèi),分(fēn)辨(biàn)率(shuài)5nm@20kV。標(biāo)配(pèi)減速(sù)模式,滿(mǎn)足弱導電(diàn)樣(yàng)品(pǐn)不(bù)噴(pēn)金直(zhí)接(jiē)觀察,電(diàn)子(zǐ)束敏感樣品無(wú)損觀察的(dí)要求。

換樣時間(jiān)僅需30s
超大樣(yàng)品(pǐn)倉(cāng)185*176*125(長(cháng)*寬*高(gāo))mm
1-60Pa 低真空模式選配
10kV樣品台高壓減速選(xuǎn)配(pèi)
增加樣品倉內(nèi)攝像(xiàng)頭(tóu),可實時觀察樣品倉(cāng)內(nèi)情況
軟(ruǎn)件(jiàn)升級自(zì)動(dòng)亮度對(duì)比(bǐ)度,自動聚(jù)焦(jiāo),自動消像散,大圖拼接(jiē)等(děng)功(gōng)能模塊
槍頭一直維(wéi)持5*10-5pa真(zhēn)空(kōng),大(dà)大(dà)提高鎢燈(dēng)絲使(shǐ)用壽,同(tóng)時可選(xuǎn)配(pèi)LaB6燈(dēng)絲
五(wǔ)軸中(zhōng)心樣品台(tái)選(xuǎn)配
豐富(fù)的原位(wèi)擴展接口(kǒu),可搭配(pèi)拉(lā)伸台,加熱(rè)台,TEC冷台(tái),納米(mǐ)壓(yā)痕(hén)等(děng)原(yuán)位產品(pǐn)
支(zhī)持(chí)寄樣測試
台(tái)式(shì)掃(sǎo)描(miáo)電(diàn)子(zǐ)顯微鏡(jìng)ZEM 20廣(guǎng)泛(fàn)運用在電子半導體/工業檢(jiǎn)測,功能(néng)無機(jī)材料/化工,科(kē)研(yán)教(jiào)學/生(shēng)命科學,新能源(yuán)材料(liào)等(děng)行(háng)業。


| 型(xíng)號(hào) | ZEM 20台(tái)式(shì)掃(sǎo)描電子(zǐ)顯微鏡 |
| 環境(jìng)要求 | AC 220V,50Hz,1kW,無(wú)需(xū)減震台(tái) |
| 加速(sù)電(diàn)壓 | 3kV~18kV連續可(kě)調,1kV步(bù)進 |
| 電(diàn)子槍 | 預(yù)對中鎢燈(dēng)絲(sī),一體(tǐ)式(shì)聚(jù)光鏡,無(wú)需手(shǒu)動調節物(wù)鏡(jìng)光闌,可(kě)選配LaB6燈絲(sī) |
| 放大(dà)倍數(shù) | 25~360000倍 |
| 探(tàn)測(cè)器 | 四(sì)分割(gē)背散(sàn)射(shè)電子探(tàn)測(cè)器,二次(cì)電子探(tàn)測器(qì),集成式能譜(pǔ)儀(yí)(選配(pèi)) |
| 樣品台(tái)行程 | 三軸:X:60mm,Y:60mm,T:±45° 五軸(zhóu)(選配(pèi)):X:90mm,Y:50mm,2:25mm,R:360°,T:-10°-90° |