全(quán)自動(dòng)台階(jiē)儀(yí)JS2000B提(tí)供(gōng)兩(liǎng)個(gè)彩(cǎi)色(sè)攝像頭(tóu)對樣(yàng)品和針尖(jiān)同時成像(xiàng)，可無(wú)畸變(biàn)的(dí)觀(guān)察樣品(pǐn)區，方便(biàn)定位特征(zhēng)區域(yù)，同(tóng)時(shí)探(tàn)針(zhēn)掃描時可(kě)實時觀(guān)察(chá)掃描區(qū)域
。

產(chǎn)品(pǐn)特色

納米級測(cè)試(shì)精度，標準(zhǔn)偏差(chà)0.5nm以(yǐ)內

可測樣(yàng)品(pǐn)厚(hòu)度範圍0-10mm；超出可定(dìng)製(zhì)

操作流程直觀，軟(ruǎn)件緊密(mì)貼合(hé)客(kè)戶需求(qiú)，上手更快

儀器結構模(mó)塊化(huà)設計(jì)，安裝(zhuāng)維護(hù)簡(jiǎn)易快捷(jié)

大(dà)行(háng)程(chéng)超(chāo)平(píng)麵掃描(miáo)技術（行程(chéng)55mm，平坦度優(yōu)於(yú)20nm）

超(chāo)微(wēi)壓力，恒定控製（探針壓力0.5~50mg）

大帶寬大行程，納米微(wēi)動(dòng)台(tái)技術(shù)（行程80um，分(fēn)辨(biàn)率0.05nm，帶寬(kuān)10KHz）

產品優勢

量測精確(què)，功(gōng)能豐富(fù)，一體(tǐ)式集(jí)成(chéng)，模塊化設(shè)計(jì)，售後便捷(jié)，極高(gāo)性價(jià)比

應用(yòng)領域(yù)

刻蝕(shí)，沉積和薄膜(mó)等厚(hòu)度(dù)測(cè)量

薄(báo)膜(mó)多(duō)晶矽等(děng)粗糙度(dù)，翹曲度(dù)等材(cái)料表麵參(cān)數測量(liáng)

各(gè)式(shì)薄膜等應力測(cè)量(liáng)

3D掃描成像

計劃(huá)任務(wù)和多點掃(sǎo)描(miáo)

批(pī)量測(cè)試(shì)晶圓(yuán)，批(pī)量(liáng)處(chǔ)理數據等

應用(yòng)示(shì)例

18nm樣(yàng)品掃(sǎo)描圖

68um樣品掃(sǎo)描(miáo)圖(tú)