半(bàn)自動台(tái)階儀(yí)JS100B提供(gōng)兩個彩(cǎi)色攝像(xiàng)頭對樣品和針尖(jiān)同時成像，可(kě)無畸(jī)變的觀(guān)察(chá)樣品(pǐn)區，方便定位(wèi)特(tè)征區域，同(tóng)時探(tàn)針掃描時(shí)可實時(shí)觀(guān)察掃描區域，擁(yōng)有高精(jīng)度(dù)
，高分解(jiě)能，搭(dā)配(pèi)一(yī)體花崗(gǎng)岩結(jié)構，提(tí)供(gōng)穩定可靠的重復(fù)性測量。

產品特色(sè)

納(nà)米級測試精度(dù)，標準(zhǔn)偏(piān)差(chà)0.5nm以內(nèi)

可測樣(yàng)品(pǐn)厚度(dù)範圍0-10mm；超(chāo)出(chū)可定製

操(cāo)作流程直(zhí)觀(guān)，軟(ruǎn)件(jiàn)緊密(mì)貼合(hé)客戶需求，上(shàng)手更快

儀器結(jié)構模塊化(huà)設計，安(ān)裝維護(hù)簡(jiǎn)易(yì)快捷

大行程超(chāo)平麵(miàn)掃(sǎo)描技術（行(háng)程55mm，平坦(tǎn)度優於(yú)20nm）

超(chāo)微壓(yā)力，恒(héng)定(dìng)控製（探(tàn)針(zhēn)壓力0.5~50mg）

大帶寬(kuān)大行(háng)程，納(nà)米微(wēi)動台(tái)技術（行(háng)程80um，分辨(biàn)率(shuài)0.05nm，帶寬10KHz）

產品(pǐn)結構

產品優勢(shì)

穩(wěn)定(dìng)的重復(fù)性(xìng)

1um標準樣(yàng)品30次(cì)掃(sǎo)描偏差(chà)極值(zhí)小於10nm，準確(què)度（1σ）小於0.5nm。

實時觀(guān)察(chá)掃描區(qū)域

金(jīn)剛石針尖

無(wú)畸(jī)變(biàn)的觀(guān)察(chá)樣品區

應(yīng)用領域

半導(dǎo)體(tǐ)
，太陽(yáng)能
，LED
，光電子
，生(shēng)物(wù)醫(yī)學(xué)器(qì)件
，MEMS
，薄膜化學(xué)
，圖層
，平板(bǎn)顯示(shì)
，觸摸屏
，材(cái)料學(xué)

應用示例

測(cè)金(jīn)屬(shǔ)片

測膜厚

測(cè)電(diàn)極(jí)