晶圓是(shì)集(jí)成電(diàn)路(lù)製造的關(guān)鍵組件之一，其(qí)質量和可靠性對芯片性(xìng)能和壽命(mìng)有重要影響
。因(yīn)此，需要(yào)對(duì)晶圓(yuán)進行各(gè)種測(cè)試和評估(gū)，其中(zhōng)包括紫外(wài)老化測試(shì)
。下(xià)麵(miàn)將詳(xiáng)細(xì)介紹對(duì)晶圓(yuán)體產品進行(háng)紫外老化測(cè)試(shì)的(dí)目(mù)的，工作原理和(hé)操(cāo)作(zuò)方(fāng)法
。

目的

晶圓(yuán)體(tǐ)產(chǎn)品(pǐn)的紫外老(lǎo)化(huà)測試主(zhǔ)要目(mù)的是(shì)評(píng)估(gū)晶圓(yuán)在紫(zǐ)外光(guāng)照(zhào)射(shè)下(xià)的(dí)穩定性(xìng)和耐(nài)久性(xìng)，以確定(dìng)其在實際使(shǐ)用中的(dí)壽命(mìng)
。此外(wài)，該測試也可用於(yú)評(píng)估晶圓(yuán)的抗氧(yǎng)化(huà)和防(fáng)黃(huáng)變性能，以及其(qí)它有(yǒu)關化(huà)學(xué)和(hé)物(wù)理性(xìng)能的變(biàn)化(huà)
。

工(gōng)作(zuò)原(yuán)理(lǐ)

晶(jīng)圓體(tǐ)產品的(dí)紫外老(lǎo)化測(cè)試一(yī)般采用(yòng)紫外輻(fú)射(shè)器進行(háng)，通過模擬(nǐ)太陽(yáng)光的紫(zǐ)外輻射來加(jiā)速晶(jīng)圓在(zài)日(rì)常使用(yòng)中(zhōng)可能遇到(dào)的(dí)紫外(wài)光老化(huà)現象
。在測(cè)試過(guò)程中(zhōng)，晶(jīng)圓(yuán)被暴露(lòu)在紫(zǐ)外輻射器下(xià)，然後(hòu)對(duì)樣(yàng)品進行(háng)恒溫加(jiā)熱，以(yǐ)模(mó)擬實際使(shǐ)用(yòng)情況(kuàng)下的環境
。

測試的主要(yào)指(zhǐ)標是晶(jīng)圓的(dí)變化(huà)程度，可(kě)以(yǐ)通(tōng)過測(cè)量晶圓(yuán)的化(huà)學，物理(lǐ)性(xìng)質(zhì)等指標，比(bǐ)如顏色(sè)，光(guāng)澤，透明度，機械性能(néng)等(děng)來進行評(píng)估(gū)
。

操作方(fāng)法

下(xià)麵是(shì)晶圓體(tǐ)產品紫外(wài)老(lǎo)化(huà)測試(shì)的(dí)操作(zuò)方法：

（1）製備樣品(pǐn)：從晶圓(yuán)中切割出(chū)適當大(dà)小的樣品，並標(biāo)記好標識(shí)
。

（2）進行(háng)暴露：將樣品放(fàng)置在紫外(wài)輻射(shè)器下，根據(jù)所選測試(shì)條件設(shè)置(zhì)紫(zǐ)外(wài)輻(fú)射器(qì)的輻射劑(jì)量和(hé)時間，一般常用(yòng)的是(shì)UVA-340，UVB-313等
。

（3）恒(héng)溫(wēn)加熱(rè)：將樣(yàng)品進行恒(héng)溫加熱(rè)，以模擬實際(jì)使(shǐ)用條(tiáo)件(jiàn)下(xià)的(dí)環境
。一(yī)般溫(wēn)度(dù)為(wéi)50℃
。

（4）評估樣品(pǐn)：測(cè)試結束後，對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估(gū)，通過對(duì)樣(yàng)品的(dí)顏色，光澤，透(tòu)明度，機(jī)械(xiè)性(xìng)能等(děng)方麵(miàn)的(dí)檢測，來評(píng)估(gū)樣(yàng)品(pǐn)在紫(zǐ)外光作用下的老(lǎo)化(huà)程(chéng)度和性能(néng)變(biàn)化(huà)
。

需要(yào)注(zhù)意的是，為(wéi)了(liǎo)保(bǎo)證(zhèng)測試(shì)的可(kě)靠性(xìng)，需(xū)要對樣品(pǐn)進行多次(cì)測(cè)試，並采用(yòng)合適(shì)的(dí)數據(jù)處理(lǐ)方(fāng)法(fǎ)來(lái)處(chǔ)理測試結(jié)果，比如使(shǐ)用(yòng)曲(qū)綫(xiàn)擬(nǐ)合等(děng)方(fāng)式，以得(dé)出(chū)更(gēng)為準確(què)的測試結(jié)果(guǒ)
。

符合標準

晶圓體(tǐ)產(chǎn)品(pǐn)的紫外老化(huà)測試(shì)需(xū)要(yào)參考(kǎo)國(guó)際標準，常用的標(biāo)準有：

JEDEC JESD22-A110A：該標準(zhǔn)規定(dìng)了半導體器件的紫(zǐ)外老(lǎo)化測(cè)試方(fāng)法和測試條(tiáo)件，以評(píng)估器(qì)件(jiàn)長(cháng)期使(shǐ)用(yòng)後的(dí)可靠性
。

IEC 61215-2：該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了(liǎo)太(tài)陽能電(diàn)池板(bǎn)的(dí)性(xìng)能(néng)要求(qiú)和測試(shì)方法，其(qí)中包(bāo)括紫外(wài)老(lǎo)化測試
。

GB/T 2423.24-2016：該標(biāo)準是中國(guó)國(guó)家標準，規(guī)定(dìng)了電(diàn)子產(chǎn)品(pǐn)的(dí)環境試(shì)驗方(fāng)法，其(qí)中包括(kuò)紫外(wài)老化測(cè)試
。

這(zhè)些標準提(tí)供了(liǎo)對(duì)晶(jīng)圓(yuán)體產品進行紫(zǐ)外老(lǎo)化測試(shì)的(dí)基(jī)本要求(qiú)，測試方法(fǎ)和測試(shì)條件，可(kě)以參(cān)考這些(xiē)標準進行(háng)測試(shì)
。