在半導體(tǐ)工業(yè)中， “絕(jué)對清(qīng)潔”的要(yào)求(qiú)擴展(zhǎn)到(dào)設備（臭氧發生器，接(jiē)觸到的設備），這意味著(zhuó)不(bù)會產(chǎn)生顆粒(lì)，沒有金屬，離子(zǐ)或有機(jī)汙(wū)染物。目(mù)前(qián)德(dé)國ANSEROS安索羅斯的臭氧(yǎng)發生器(qì)以(yǐ)及(jí)其他的(dí)臭(chòu)氧處(chǔ)理(lǐ)係統已經(jīng)可(kě)以“絕對清(qīng)潔(jié)”的(dí)要(yào)求(qiú)。

為了(liǎo)保(bǎo)證臭(chòu)氧在半導體(tǐ)工(gōng)業清洗的應用的可重復(fù)性(xìng)，必須(xū)測(cè)量液(yè)態臭氧濃(nóng)度，對清洗過程進行(háng)控(kòng)製。

因(yīn)為臭氧(yǎng)在晶圓清(qīng)洗過程中(zhōng)的(dí)反(fǎn)應與(yǔ)飲(yǐn)用水或(huò)者廢(fèi)水(shuǐ)處理中(zhōng)的臭(chòu)氧反(fǎn)應是一樣的(dí)。由(yóu)於臭氧(yǎng)在水中(zhōng)的吸收(shōu)與(yǔ)晶(jīng)片(piàn)的(dí)處(chǔ)理(lǐ)（清洗，光(guāng)刻膠去除等(děng)）通常(cháng)是兩(liǎng)個(gè)獨立的(dí)係統(tǒng)，它們之(zhī)間(jiān)的距離(lí)最大為(wéi)40 m。因此，應(yīng)該測量臭氧的(dí)衰減速(sù)率(shuài)或(huò)至少接近使用點的液態臭氧濃(nóng)度(dù)，以確保過(guò)程的可重復性。

高級氧(yǎng)化過程（AOPs）

高級氧化過(guò)程(chéng)（AOPs）, 作(zuò)為(wéi)涉及(jí)高(gāo)反應(yīng)性自由(yóu)基(jī)中(zhōng)間體(tǐ)特(tè)別(bié)是OHo的產(chǎn)生的水處理(lǐ)過程。即使是(shì)高pH值的臭(chòu)氧，也(yě)是AOP的(dí)一種(zhǒng)。由於(yú)臭(chòu)氧(yǎng)主要通(tōng)過非選(xuǎn)擇(zé)性間接途徑與天然(rán)水中(zhōng)的大多數有機(jī)汙染物(wù)發生(shēng)反應，因(yīn)此(cǐ)AOPs代(dài)表了(liǎo)催化(huà)這些自(zì)由基產生(shēng)的(dí)替(tì)代技(jì)術，從(cóng)而加速(sù)了有機(jī)汙染物的破壞(huài)。由(yóu)於自由基(jī)在(zài)其(qí)攻擊(jī)方(fāng)式上(shàng)相對非選擇性，因此它們能夠氧化所(suǒ)有還原物質，並且(qiě)不(bù)像分子臭氧那(nà)樣(yàng)局限(xiàn)於(yú)特定(dìng)類別的(dí)汙染(rǎn)物(wù)。

適用於高(gāo)級氧化(huà)工(gōng)藝(yì)(AOP）的(dí)臭氧水處(chǔ)理係(xì)統(tǒng)PAP-SC

在(zài)半導體(tǐ)加(jiā)工(gōng)中(zhōng)，需(xū)要一個完全(quán)幹淨的臭(chòu)氧係統。在(zài)加工過(guò)程(chéng)中(zhōng)（晶圓(yuán)/IMEC清洗/RCA清洗/SOM等），任(rèn)何從臭氧(yǎng)係統排(pái)放(fàng)到半導體表麵的金屬(shǔ)和顆粒都會影(yǐng)響晶圓的(dí)質量，包括(kuò)臭氧係統(tǒng)的(dí)部件臭氧發生器COM-AD或臭(chòu)氧(yǎng)分(fēn)析(xī)儀(yí)WM，ANSEORS安索(suǒ)羅斯(sī)臭氧水(shuǐ)係(xì)統(tǒng)PAP-SC在(zài)與臭氧(yǎng)接(jiē)觸時(shí)完(wán)全不含(hán)金屬，因(yīn)此(cǐ)ANSEROS安索(suǒ)羅(luó)斯(sī)臭(chòu)氧水處理(lǐ)係統(tǒng)可(kě)用(yòng)於濕法(fǎ)清洗(xǐ)和幹(gān)法(fǎ)清洗，不管是有(yǒu)酸(suān)還(huán)是無酸(suān)。為(wéi)了確保安(ān)全，ANSEORS安索(suǒ)羅(luó)斯(sī)臭氧(yǎng)水(shuǐ)係統PAP-SC還包括(kuò)一個(gè)臭(chòu)氧(yǎng)破(pò)壞(huài)器CAT-HO。其(qí)中(zhōng)臭氧(yǎng)發(fā)生(shēng)器(qì)COM-AD配合(hé)ANSEROS臭氧(yǎng)分析儀及控製係(xì)統，可(kě)以精(jīng)準控製臭氧(yǎng)濃(nóng)度(dù)，且雙壁石英(yīng)管(guǎn)的設(shè)計(jì)使(shǐ)電(diàn)極不(bù)接(jiē)觸(chù)臭(chòu)氧，保證了臭氧氣(qì)體的幹淨(jìng)。

德國(guó)ANSEROS安(ān)索(suǒ)羅斯(sī)是全(quán)球專業的臭氧技(jì)術(shù)開(kāi)發(fā)製(zhì)造商，其生產的(dí)臭氧(yǎng)發生(shēng)器(qì)和臭氧(yǎng)水(shuǐ)處理(lǐ)係統廣泛(fàn)運(yùn)用(yòng)各(gè)個行業。

翁開(kāi)爾是德國(guó)ANSEROS安索羅斯(sī)中國(guó)總代理(lǐ)，擁有(yǒu)近(jìn)40年的行業(yè)經驗，能根據您(nín)的需求為(wéi)您提(tí)供專業(yè)的解(jiě)決方案，歡迎(yíng)致(zhì)電【400-6808-138】咨詢(xún)。