在(zài)過去的(dí)幾(jī)年(nián)中，臭氧在半導體(tǐ)工業的(dí)應(yīng)用(yòng)越來(lái)越受到(dào)重(zhòng)視(shì)，特別(bié)是在晶圓清洗過(guò)程(chéng)。

在半導體行(háng)業(yè)，清潔(jié)度是(shì)一(yī)個(gè)絕對(duì)的要求。即(jí)使(shǐ)是很小(xiǎo)的(dí)汙染(rǎn)物痕跡(jì)也會導致(zhì)晶(jīng)圓表麵(miàn)區域結構(gòu)的改(gǎi)變。自80年(nián)代(dài)末(mò)以來，在(zài)芯(xīn)片生產(chǎn)中采用(yòng)臭氧(yǎng)的(dí)清潔工藝(yì)已經(jīng)被使(shǐ)用。隨著修改(gǎi)和新方(fāng)法的開(kāi)發(fā)，人們的(dí)興趣繼(jì)續(xù)增(zēng)長。每個(gè)晶圓處(chǔ)理步驟都(dū)是潛(qián)在(zài)的(dí)汙(wū)染(rǎn)源(yuán)，每個步驟(zhòu)都有其特定(dìng)類(lèi)型(xíng)的(dí)汙(wū)染物(wù)。這意味著(zhuó)一個有效的(dí)清洗(xǐ)過程(chéng)包(bāo)括幾(jī)個(gè)清洗步驟，以(yǐ)去除晶體(tǐ)上的所有汙染物。同(tóng)時“絕(jué)對清(qīng)潔(jié)”的(dí)行(háng)業要(yào)求(qiú)擴展到設(shè)備（臭(chòu)氧(yǎng)發生器(qì)，接觸到的設備(bèi)），這(zhè)意味(wèi)著不(bù)會產生顆(kē)粒(lì)，沒有(yǒu)金(jīn)屬，離(lí)子或(huò)有(yǒu)機汙染(rǎn)物。

有(yǒu)效(xiào)的(dí)芯片(piàn)清洗過(guò)程的(dí)要求(qiú)是(shì)去除(chú)所有(yǒu)會(huì)影響元件功(gōng)能或可靠(kào)性的汙染(rǎn)物(wù)。可(kě)能的汙(wū)染(rǎn)物可以分(fēn)為以(yǐ)下(xià)幾類(lèi)：

1.顆粒：主(zhǔ)要來自周(zhōu)圍環境(jìng)和人(rén)類(lèi)（皮膚，頭發，衣服），但溶劑(jì)和(hé)移動的零件(jiàn)也可(kě)以作為(wéi)顆(kē)粒源

2.有(yǒu)機雜(zá)質：例如沒有(yǒu)完(wán)全(quán)去除光刻膠或(huò)溶(róng)劑

3.原子(zǐ)汙染(rǎn)：來自(zì)溶劑或(huò)機(jī)器的(dí)金屬元(yuán)素膜(mó)

晶(jīng)圓清洗是目(mù)前半導(dǎo)體(tǐ)生(shēng)產綫(xiàn)上最(zuì)重要，最(zuì)嚴(yán)謹的(dí)工(gōng)序(xù)之(zhī)一，在很多(duō)的清(qīng)洗工序中，隻要有一道(dào)工(gōng)序(xù)達不到(dào)要(yào)求，就(jiù)會導致(zhì)征(zhēng)辟的芯片的(dí)報(bào)廢(fèi)和(hé)流(liú)程不順暢(chàng)，傳(chuán)統(tǒng)的(dí)RCA清(qīng)洗法需要大(dà)量(liáng)的化(huà)學(xué)試(shì)劑，帶來了成(chéng)本的(dí)增加以及(jí)均匀性不(bù)一致(zhì)的問(wèn)題，而臭氧(yǎng)是一(yī)種具有較(jiào)強氧(yǎng)化性(xìng)的氣體(tǐ)，把它溶(róng)解在超純(chún)水(shuǐ)中，噴(pēn)灑(sǎ)在(zài)晶圓(yuán)表麵，可(kě)以(yǐ)將表麵(miàn)的(dí)有機汙(wū)染(rǎn)物氧化(huà)為二氧(yǎng)化碳(tàn)和水，非(fēi)常容易就可以(yǐ)去除表(biǎo)麵有機物(wù)，同時還會在(zài)晶圓表麵(miàn)形成(chéng)一(yī)層(céng)致密的氧(yǎng)化膜(mó)。因(yīn)此(cǐ)德國ANSEROS安(ān)索(suǒ)羅斯臭氧發生器非常適(shì)合(hé)運(yùn)用在半(bàn)導體特別是晶(jīng)圓清洗(xǐ)上。

德國(guó)安索羅(luó)斯(sī)ANSEROS是一家(jiā)生產(chǎn)臭(chòu)氧發生器的(dí)廠家(jiā)，具有最(zuì)高的臭(chòu)氧(yǎng)輸出(chū)量，使用(yòng)的材(cái)料可(kě)以(yǐ)完(wán)全不(bù)含金屬(shǔ)，意(yì)味(wèi)著(zhuó)臭氧(yǎng)氣體和臭(chòu)氧水(shuǐ)是顆粒幹淨(jìng)的。COM-AD 臭(chòu)氧(yǎng)發(fā)生器(qì)是(shì)用(yòng)石英(yīng)和(hé)PFA製造(zào)的，意(yì)味著清潔(jié)，在放電模塊(kuài)的結構上也(yě)是如(rú)此(cǐ)。COM-VD 臭(chòu)氧發生(shēng)器是用鋁(lǚ)製模塊(kuài)製(zhì)成(chéng)的。

德(dé)國ANSEROS安(ān)索羅斯COM-AD係列臭氧(yǎng)發(fā)生器介紹

德國(guó)ANSEROS安(ān)索(suǒ)羅斯臭(chòu)氧發(fā)生(shēng)器COM-AD係(xì)列(liè)是用(yòng)石英(yīng)和PFA材料製(zhì)造(zào)的(dí)，采用(yòng)電(diàn)暈(yùn)法，產生臭氧的效(xiào)率高(gāo)，且能精(jīng)準控製(zhì)臭氧濃度(dù)。

臭氧發生器(qì)COM-AD係列(liè)產品特(tè)點：

●不(bù)含(hán)金屬 ●無密(mì)封(fēng) ●無顆粒排放(fàng) ●免(miǎn)維(wéi)護(hù) ●無磨損 ●質量保證(zhèng)

廣泛(fàn)運(yùn)用(yòng)在半(bàn)導(dǎo)體加(jiā)工，水殺(shā)菌(jūn)，超純(chún)水處理，食品生(shēng)產(chǎn)，研(yán)發，藥品(pǐn)生(shēng)產，試驗裝(zhuāng)置(zhì)等方麵(miàn)。

德(dé)國ANSEROS安(ān)索羅斯COM-VD係(xì)列臭(chòu)氧發生(shēng)器介紹

德國(guó)ANSEROS安索(suǒ)羅斯臭(chòu)氧(yǎng)發生器COM-VD係列是專(zhuān)門(mén)為(wéi)獲(huò)得(dé)高濃(nóng)度臭(chòu)氧(yǎng)而設計的(dí)。在(zài)低氧(yǎng)氣消耗(hào)量(liáng)的氣相中，臭(chòu)氧(yǎng)最(zuì)高(gāo)濃(nóng)度(dù)可達(dá)到 300g O₃/Nm³。

臭氧發(fā)生(shēng)器COM-VD能與ANSEROS安索羅(luó)斯AOPR反(fǎn)應(yīng)器配(pèi)合使用(yòng)，其質量(liáng)轉移效(xiào)果非(fēi)常(cháng)好，可以(yǐ)將大量的(dí)臭氧轉(zhuǎn)換(huàn)成(chéng)液(yè)相，從而達(dá)到強(qiáng)力去除(chú)COD的目的。

臭(chòu)氧發(fā)生器COM-VD係(xì)列產品特點：

●最(zuì)高(gāo)臭氧濃度(dù) ●低耗氧(yǎng)量 ●低(dī)功耗 ●相(xiāng)關反應性高(gāo) ●低AOPR(高(gāo)級氧化(huà)工(gōng)藝)能耗

APCVD和CVD設備中(zhōng)使(shǐ)用臭氧(yǎng)發(fā)生(shēng)器進(jìn)行(háng)晶圓半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)加工(gōng)工藝(yì)

德國ANSEROS安索(suǒ)羅(luó)斯臭氧發(fā)生器可(kě)以結(jié)合在(zài)CVD（化學氣相(xiāng)沉(chén)積(jī)）機器中(zhōng)，CVD（化學氣相沉(chén)積）機器(qì)在(zài)腔(qiāng)體中使用(yòng)臭氧發生(shēng)器產生臭氧(yǎng)氣(qì)體，在(zài)腔體(tǐ)後(hòu)使用臭氧破壞(huài)器（CAT-HO-8000）。

對(duì)比(bǐ)其(qí)他的臭(chòu)氧發(fā)生(shēng)器品牌，德(dé)國ANSEROS安(ān)索羅斯有著明顯的優勢：

（1）在(zài)半導體(tǐ)工藝中，德(dé)國(guó)ANSEROS安索(suǒ)羅(luó)斯(sī)臭(chòu)氧(yǎng)發生器可以長(cháng)時(shí)間(jiān)正常運行，給(gěi)晶圓清(qīng)洗帶來長期的(dí)可靠(kào)性；

（2）德國ANSEROS安索羅(luó)斯已經為(wéi)美國，德國，意大利(lì)，英(yīng)國(guó)等(děng)30個客戶提(tí)供服務(wù)，這些(xiē)企(qǐ)業累(léi)計(jì)使(shǐ)用臭氧發(fā)生器有17年的運(yùn)行(háng)時間(jiān)，每(měi)天24小(xiǎo)時。

翁(wēng)開爾是德國ANSEROS安索羅斯(sī)中(zhōng)國總代(dài)理，擁有近40年的行業(yè)經驗(yàn)，能根據您的需(xū)求為(wéi)您提供(gōng)專業的解決方(fāng)案(àn)，歡(huān)迎致(zhì)電(diàn)【400-6808-138】咨詢(xún)。