生(shēng)產(chǎn)太(tài)陽能(néng)電池(chí)時，晶片(piàn)要(yào)虛(xū)綫蝕(shí)刻幹(gān)淨，或(huò)者(zhě)清除(chú)掉一個特定的(dí)晶圓層。因(yīn)此，潤濕劑，多(duō)數用異(yì)丙醇(chún)(IPA)，會(huì)被(bèi)加到(dào)蝕(shí)刻劑(jì)溶液(yè)中以降(jiàng)低表(biǎo)麵張力。工藝(yì)過程的問題(tí)是(shì)：蝕刻過程(chéng)的(dí)對(duì)流會引(yǐn)起異丙醇的(dí)快(kuài)速蒸發，蝕刻劑的(dí)表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力增加(jiā)，蝕刻工(gōng)藝(yì)的(dí)質量降低。因(yīn)此，為(wéi)了將蝕刻劑中(zhōng)異丙醇(chún)的(dí)濃度控製在規定範圍內(nèi)，就(jiù)必(bì)須監測動態表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力(lì)以得(dé)知異(yì)丙醇(chún)的(dí)濃(nóng)度。而靜態(tài)表(biǎo)麵張(zhāng)力(lì)的(dí)測量法例如(rú)拉環法和(hé)吊(diào)片(piàn)法(fǎ)對(duì)於(yú)這(zhè)種在(zài)生產(chǎn)過(guò)程中分析不(bù)適(shì)用。

德(dé)國SITA公(gōng)司(sī)的創(chuàng)新的氣泡(pào)壓力法表麵張力(lì)儀(yí)由於可(kě)以(yǐ)精確
，快速(sù)的(dí)測(cè)量動態表麵張(zhāng)力，而(ér)幫(bāng)助(zhù)各(gè)領(lǐng)域(yù)的應用找(zhǎo)到(dào)較(jiào)佳的(dí)解決(jué)方案。在下圖(tú)中(zhōng)您可以看到動(dòng)態表麵張力和異(yì)丙醇濃度(dù)的關係。手持式表(biǎo)麵張(zhāng)力(lì)儀(yí)SITA DynoTester+和在綫表麵(miàn)張力(lì)係(xì)統SITA ST對(duì)監測蝕(shí)刻劑(jì)來說(shuō)是最合適的(dí)檢(jiǎn)測(cè)設備。

SITA Dyno Tester 表(biǎo)麵(miàn)張力(lì)儀(yí)是靈活(huó)
，輕(qīng)便的可(kě)以輕(qīng)鬆快速的(dí)測(cè)量蝕(shí)刻劑(jì)溶(róng)液表麵張力的(dí)設備，無需任何專(zhuān)業(yè)操作經驗(yàn)。所得(dé)的(dí)測量(liáng)數據(jù)可(kě)以(yǐ)與(yǔ)所需(xū)的(dí)值(zhí)對(duì)比(bǐ)，得出(chū)異(yì)丙醇(chún)濃度是(shì)否還(huán)在規定範圍(wéi)之(zhī)內(nèi)。如(rú)果(guǒ)超出(chū)範圍(wéi)，可以通(tōng)過(guò)快(kuài)速的額(é)外增加(jiā)劑量增加濃度(dù)解決(jué)問(wèn)題。

動態(tài)表麵張(zhāng)力(lì)與IPA濃度的關(guān)係

設(shè)備(bèi)的USB端口可(kě)以將數據(jù)傳(chuán)輸到電腦(nǎo)上(shàng)，電(diàn)腦(nǎo)也可以(yǐ)作(zuò)為一(yī)個外(wài)接電源(yuán)。SITA 動態(tài)表麵(miàn)張(zhāng)力儀(yí)對(duì)清(qīng)洗池槽(cáo)液中表麵(miàn)活性(xìng)劑濃(nóng)度的進(jìn)行測量的較(jiào)佳儀器。

在(zài)一些領域的(dí)應用中，我們需(xū)要(yào)對槽液(yè)表(biǎo)麵活性劑濃度進行(háng)連(lián)續(xù)在綫監測(cè)，是影響(xiǎng)蝕刻質(zhì)量(liáng)的重(zhòng)要(yào)因素。SITA公司(sī)提供在(zài)綫表麵(miàn)張(zhāng)力檢測係(xì)統SITA ST作(zuò)為解決方(fāng)案，它可以(yǐ)自動(dòng)定時的(dí)測量(liáng)清洗液的(dí)表(biǎo)麵張(zhāng)力(lì)，自動(dòng)將測(cè)得(dé)的表麵張力數據(jù)與(yǔ)限定(dìng)值作對比。因此(cǐ)我們可在異丙(bǐng)醇濃度超(chāo)出限(xiàn)定(dìng)值(zhí)後，在短時間內采取相(xiāng)關處理措施。而且，可(kě)節省(shěng)監測異丙醇濃(nóng)度(dù)方麵的(dí)人力(lì)資(zī)源(yuán)。

德國(guó)SITA公(gōng)司的表麵張(zhāng)力(lì)儀可以可(kě)靠(kào)地(dì)監(jiān)測異丙醇濃(nóng)度，達到高質(zhì)量(liáng)的(dí)蝕(shí)刻(kè)工藝(yì)和避免異(yì)丙醇過量。