四(sì)甲(jiǎ)基氫氧化銨(ǎn)(TMAH)溶(róng)液，在晶(jīng)片(piàn)生(shēng)產中用作CMP(化學(xué)機(jī)械拋(pāo)光)預(yù)清洗(xǐ)劑，或在半(bàn)導體領(lǐng)域的(dí)光(guāng)刻工藝中作(zuò)為顯(xiǎn)影劑。為了完(wán)全潤濕晶片表麵，通常會(huì)在TMAH溶液(yè)中(zhōng)加(jiā)入表麵(miàn)活(huó)性劑(jì)以(yǐ)降低其表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力。確保(bǎo)一個(gè)穩(wěn)定(dìng)且不與(yǔ)表麵幾何(hé)形狀(zhuàng)相(xiāng)關的蝕刻(kè)過(guò)程。

動(dòng)態表麵張(zhāng)力(lì)(隨(suí)時間(jiān)變(biàn)化的(dí)潤濕(shī)行為(wéi))對(duì)塗層的均匀性和(hé)一(yī)致(zhì)性有著(zhuó)非常重要的(dí)影(yǐng)響，靜(jìng)態測量法(fǎ)如(rú)吊(diào)片和拉(lā)環(huán)的方(fāng)法(fǎ)並不(bù)適用於這(zhè)類(lèi)問(wèn)題的(dí)分(fēn)析，因(yīn)為(wéi)他(tā)們(mén)測量的是靜(jìng)態表麵(miàn)張(zhāng)力(lì)而(ér)非動(dòng)態(tài)表麵(miàn)張(zhāng)力。此外，使用(yòng)靜(jìng)態法(fǎ)測(cè)量後，必(bì)須(xū)對測試設備(bèi)進行(háng)非常復雜的(dí)清(qīng)洗(xǐ)，這(zhè)會耗費大(dà)量的時間。德國SITA公司(sī)根(gēn)據(jù)不(bù)同的(dí)應用(yòng)領域，提(tí)供(gōng)不(bù)同的(dí)解(jiě)決方(fāng)案(àn)以檢(jiǎn)測槽液(yè)配方(fāng)的表麵張力。基於創(chuàng)新(xīn)的氣(qì)泡壓力法，SITA表(biǎo)麵張力(lì)儀可以(yǐ)精確(què)，快(kuài)速(sù)的測(cè)量動態表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力(lì)，從動(dòng)態到準(zhǔn)靜(jìng)態的表(biǎo)麵張力(lì) 。

SITA DynoTester是一個非(fēi)常靈(líng)活，輕便的手(shǒu)持式表(biǎo)麵(miàn)張力測試儀，非常適用於(yú)工藝過(guò)程(chéng)中質量(liáng)的監控，可(kě)進(jìn)行(háng)現場測(cè)量，測試時間短，測(cè)試(shì)結(jié)果能立(lì)即與所(suǒ)需(xū)值作對(duì)比(bǐ)。因(yīn)此(cǐ)，SITA DynoTester 可對(duì)TMAH溶液的(dí)潤濕(shī)性能(néng)進行(háng)簡(jiǎn)便快捷的分析。操(cāo)作簡單，無(wú)需任何專(zhuān)業經驗(yàn)，儀器的所(suǒ)有功能都可通過儀(yí)器上(shàng)的按(àn)鍵實(shí)現。

對於(yú)高要求的TMAH溶液，以及需對(duì)檢(jiǎn)測(cè)結果進(jìn)行連(lián)續(xù)監控(kòng)的情(qíng)況，SITA 公司推(tuī)薦使用(yòng)過(guò)程監控係統(tǒng)--SITA Clean Line ST。這一係統(tǒng)直接集成在(zài)工(gōng)藝過(guò)程中(zhōng)，定期測(cè)量(liáng)表(biǎo)麵(miàn)張力(lì)，並(bìng)在(zài)設定的(dí)範(fàn)圍內自(zì)動比(bǐ)較(jiào)數據(jù)，因此我們(mén)可(kě)在(zài)表(biǎo)

表麵(miàn)活性(xìng)劑濃(nóng)度(dù)超出限定值(zhí)後，在(zài)短時(shí)間內(nèi)采(cǎi)取相(xiāng)關(guān)處理措施。設(shè)備至(zhì)少可以儲存一(yī)整(zhěng)年的(dí)測試數據(jù)，如(rú)果需(xū)要進(jìn)行長期數據存儲(chǔ)，則(zé)可(kě)以(yǐ)通過USB 端口將數據(jù)傳輸(shū)到計(jì)算機。 SITA的表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力(lì)儀(yí)可以可(kě)靠的(dí)監控槽(cáo)液(yè)的(dí)質量(liáng)，為研(yán)發和(hé)清洗工(gōng)藝過(guò)程建立良(liáng)好(hǎo)的基礎(chǔ)進而獲(huò)得(dé)高質(zhì)量結果(guǒ)。此外，表(biǎo)麵(miàn)張(zhāng)力檢測還能(néng)避(bì)免過量使用(yòng)表(biǎo)麵活(huó)性劑(jì)，從而降(jiàng)低生產(chǎn)成本(běn)。