磁(cí)控(kòng)濺射是製(zhì)備(bèi)薄(báo)膜(mó)材料的主要(yào)技(jì)術(shù)之一(yī)
，因其高致密(mì)度(dù)，優良(liáng)附著性(xìng)等優(yōu)點(diǎn)
，在(zài)電子薄(báo)膜，光學薄(báo)膜，光電(diàn)薄膜，磁性薄膜和(hé)超導(dǎo)薄(báo)膜等技(jì)術領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用(yòng)。隨(suí)著上述(shù)領域的高速(sù)發(fā)展
，濺射(shè)靶材(cái)的需求(qiú)量急(jí)劇增加(jiā)。濺射靶材通常有兩種：平(píng)麵靶材(cái)和旋轉靶材。

平麵靶材利(lì)用(yòng)率一般隻(zhī)有20%~30%
；隨(suí)著技術(shù)的進步(bù)
，逐漸開始(shǐ)向旋轉(zhuǎn)靶過渡
，旋轉(zhuǎn)靶在使用過程(chéng)中能夠(gòu)圍(wéi)繞(rào)在固定的(dí)磁控濺(jiàn)射設(shè)備上旋轉
，可360度均匀刻(kè)蝕(shí)靶麵
，這樣均匀(yún)的使用(yòng)可(kě)使(shǐ)鍍(dù)膜均匀，穩定(dìng)性高，成(chéng)品率(shuài)高
，靶材利用(yòng)率(shuài)可(kě)高達(dá)80%以上
，在使(shǐ)用(yòng)過(guò)程(chéng)中不會出現(xiàn)靶材(cái)“結瘤”現(xiàn)象。

綁定焊接率----靶材(cái)濺射質量的關鍵

采用綁定貼合(hé)的(dí)手(shǒu)段(duàn)是旋轉(zhuǎn)靶(bǎ)材製(zhì)造(zào)行業最重要的一類旋轉靶材製備手段
，把靶材分節綁定在金(jīn)屬襯(chèn)管(通常(cháng)為不鏽(xiù)鋼或(huò)者鈦(tài)材(cái)料(liào)製備(bèi))上
，以提高(gāo)導熱(rè)性(xìng)能(néng)和(hé)強度。

目(mù)前(qián)旋轉(zhuǎn)靶材(cái)的綁定(dìng)基本工藝為：將(jiāng)內(nèi)表(biǎo)麵(miàn)金(jīn)屬化(huà)的(dí)靶(bǎ)管套(tào)在經過處(chǔ)理(lǐ)的(dí)襯管(guǎn)外表麵(miàn)
，靶管(guǎn)和金屬(shǔ)襯(chèn)管(guǎn)之間(jiān)通過(guò)金(jīn)屬焊(hàn)料（通常為金(jīn)屬銦(yīn)）粘(nián)結(jié)。在綁定的(dí)過程中
，需要對金(jīn)屬(shǔ)襯管和靶(bǎ)管(guǎn)進(jìn)行加(jiā)熱
，然後把(bǎ)熔化的金(jīn)屬焊料填充(chōng)到(dào)靶(bǎ)管和(hé)金(jīn)屬襯管(guǎn)的縫隙裏
，隨(suí)後冷(lěng)卻，焊料(liào)固化
，將靶管(guǎn)牢(láo)牢(láo)地(dì)固(gù)定在襯管(guǎn)上。

綁定(dìng)焊(hàn)接(jiē)率(shuài)（貼合(hé)率(shuài)）的(dí)質量直(zhí)接關係(xì)到靶材濺射過(guò)程中的(dí)導熱效果(guǒ)
，如果(guǒ)綁(bǎng)定後靶管，背管(guǎn)和(hé)銦(yīn)層(céng)貼合效果不夠(gòu)
，在(zài)濺射過(guò)程中會(huì)出(chū)現(xiàn)導(dǎo)電(diàn)不(bù)良
，散(sàn)熱效果不好
，導致局部受熱不(bù)均匀
，當溫度超過(guò)焊(hàn)料(liào)的(dí)熔(róng)點
，金(jīn)屬(shǔ)焊料就會熔化流出滴落在(zài)膜(mó)麵(miàn)上
，或(huò)者(zhě)導(dǎo)致靶(bǎ)材受(shòu)熱不均(jūn)匀(yún)開裂(liè)（陶瓷靶）
，開裂的靶材(cái)碎片損(sǔn)傷薄膜(mó)表麵的(dí)質量(liáng)。因此對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行(háng)高(gāo)質量(liáng)的綁定(dìng)貼合
，提升焊接率（貼合(hé)率）可以有效提(tí)升(shēng)後(hòu)續磁(cí)控(kòng)濺(jiàn)射鍍膜的質量。

德國析塔(tǎ)SITA表麵(miàn)清潔度儀---提(tí)高(gāo)旋轉(zhuǎn)靶材綁(bǎng)定焊(hàn)接率(shuài)的關鍵

德國析塔SITA清(qīng)潔度儀可以(yǐ)量(liáng)化靶管(guǎn)表麵清(qīng)潔度情況(kuàng)
，通(tōng)過德(dé)國(guó)析塔SITA清潔度儀實時測量(liáng)靶(bǎ)管表麵清(qīng)潔(jié)度(dù)情(qíng)況(kuàng)
，確保(bǎo)後(hòu)續金屬(shǔ)化及(jí)綁定貼合(hé)工序時靶管表麵(miàn)無(wú)油汙(wū)
，提高(gāo)焊接(jiē)率(shuài)。

RFU：relative fluorescence units (相對熒光單(dān)位(wèi))
，常被用於做表麵殘(cán)留汙染物(wù)檢測(cè)
，數(shù)值(zhí)越(yuè)大
，則表明測試(shì)點(diǎn)的各類有(yǒu)機汙染物(wù)（拉(lā)伸(shēn)油(yóu)，切削(xiāo)油，清(qīng)洗劑，脫(tuō)模蠟，膠黏劑，助焊(hàn)劑等）殘留量(liáng)越(yuè)大。

德(dé)國(guó)析(xī)塔(tǎ)SITA表麵(miàn)清潔(jié)度儀采(cǎi)用共焦法原理
，通過光源發射出較佳波(bō)長的UV光(guāng)檢(jiǎn)測(cè)金(jīn)屬表(biǎo)麵(miàn)的汙染物(wù)
，內(nèi)置(zhì)的(dí)傳(chuán)感器(qì)精準(zhǔn)探測(cè)汙(wū)染物(wù)引起的熒光強度
，該熒光(guāng)強(qiáng)度(dù)的大小(xiǎo)取決(jué)於基材(cái)表麵有(yǒu)機(jī)物(wù)殘(cán)留情況
，從而能(néng)精準量化檢(jiǎn)測(cè)金屬表(biǎo)麵清潔度(dù)。

旋轉靶(bǎ)材(cái)在綁定貼(tiē)合前(qián)的清潔度(dù)量(liáng)化管(guǎn)控客戶實(shí)例

某(mǒu)國內靶材製造(zào)商
，在旋(xuán)轉(zhuǎn)靶材進行研磨(mó)，切(qiē)割(gē)清洗後會(huì)對(duì)靶管進行(háng)清(qīng)潔度量化管(guǎn)控(kòng)
，確保靶管(guǎn)內表(biǎo)麵無(wú)肉眼(yǎn)可見(jiàn)油汙(wū)或(huò)清洗(xǐ)劑殘留後(hòu)才允(yǔn)許進行後續的金屬化及綁定(dìng)貼(tiē)合(hé)工序(xù)
，以(yǐ)確保(bǎo)綁定焊接(jiē)率（貼(tiē)合率(shuài)）。

測量(liáng)過程

樣(yàng)品：5個(gè)樣(yàng)品(pǐn)

測量(liáng)儀器(qì)：德國析(xī)塔SITA表麵清潔度(dù)檢(jiǎn)測儀CleanoSpector

測量模式(shì)：RFU值(zhí)（相對(duì)熒光單(dān)位
，RFU值(zhí)越高(gāo)
，汙(wū)染(rǎn)程度越(yuè)大）

測量值(zhí)：在(zài)靶管(guǎn)上(shàng)隨(suí)機選取10個(gè)測(cè)試(shì)點
，測(cè)試結(jié)果(guǒ)取平均(jūn)值(zhí)
；

以(yǐ)下為使用(yòng)德國(guó)析塔(tǎ)SITA清(qīng)潔(jié)度儀(yí)測試(shì)靶管不同位置(zhì)清(qīng)潔(jié)度的測(cè)試結(jié)果(guǒ)
，由(yóu)於(yú)油汙分(fēn)布不均(jūn)匀
，因此不(bù)同(tóng)位置的(dí)清潔度也(yě)不一樣(yàng)：

測(cè)量數據分析(xī)

如(rú)上(shàng)圖所(suǒ)示
，可以得(dé)出(chū)以(yǐ)下結論：

①剛燒(shāo)結(jié)完的(dí)靶(bǎ)管工件
，RFU值(zhí)低
，說明靶(bǎ)材表麵很幹(gān)淨
，無(wú)油汙

②靶(bǎ)管燒(shāo)結完後在倉(cāng)庫(kù)放置(zhì)期間(jiān)
，受到汙染, RFU值(zhí)升高

③開裂殘(cán)靶次(cì)品(pǐn)RFU值高(gāo)
，清(qīng)潔度很(hěn)差(chà)

④研磨，切割後的靶(bǎ)管(guǎn)未清洗(xǐ)前(qián)RFU值高(gāo)
，說(shuō)明表麵不幹淨(jìng)
，存在(zài)汙染(rǎn)

⑤清洗(xǐ)後的靶(bǎ)管(guǎn)RFU值低(dī)
，說明靶管清洗(xǐ)效果(guǒ)較理想

德(dé)國析(xī)塔SITA表(biǎo)麵清潔度儀能量化(huà)測(cè)出靶管清洗(xǐ)前(qián)後的(dí)清潔度(dù)差(chà)異。在(zài)旋轉靶材(cái)的綁(bǎng)定(dìng)工(gōng)藝前
，使用德國析塔(tǎ)SITA表(biǎo)麵清潔(jié)度儀(yí)可(kě)以更好幫助(zhù)企業判斷靶(bǎ)管(guǎn)表麵(miàn)清(qīng)洗(xǐ)情況(kuàng)
，以提(tí)供足(zú)夠(gòu)幹(gān)淨的靶管進行(háng)後續綁(bǎng)定(dìng)工藝(yì)
，從(cóng)而保(bǎo)證磁(cí)控濺射鍍膜(mó)的(dí)質量。

翁(wēng)開爾是(shì)德(dé)國(guó)析(xī)塔SITA中國指(zhǐ)定代(dài)理
，歡迎致電(diàn)【400-6808-138】咨(zī)詢(xún)更(gēng)多(duō)關於(yú)德國析(xī)塔SITA表麵清潔度檢測儀產品信息，技術應(yīng)用和客戶案例等(děng)。